TY - CONF T1 - Experimental study of the impact of so phonon scattering in high-κ gate dielectric MOSFETs JO - ECS Transactions PY - 2006/01/01 AU - Atarah SA AU - De Souza MM AU - Peterson J AU - Bersuker G AU - Brown G AU - Young C ED - DO - DOI: 10.1149/1.2355698 VL - 3 IS - 3 SP - 49 EP - 56 Y2 - 2024/12/26 ER -