TY  - CONF

T1  - Quantum lithography

JO  - Fluctuations and Noise in Photonics and Quantum Optics

PY  - 2003/09/19

AU  - Braunstein SL

AU  - Boto AN

AU  - Kok P

AU  - Abrams DS

AU  - Williams CP

AU  - Dowling JP

ED  - 

DO  - DOI: 10.1117/12.497420

PB  - SPIE

Y2  - 2024/12/26

ER  -