TY  - JOUR

T1  - P-type delta doping in silicon MBE

JO  - Thin Solid Films

PY  - 1990/01/01

AU  - Mattey NL

AU  - Hopkinson M

AU  - Houghton RF

AU  - Dowsett MG

AU  - McPhail DS

AU  - Whall TE

AU  - Parker EHC

AU  - Booker GR

AU  - Whitehurst J

ED  - 

DO  - DOI: 10.1016/0040-6090(90)90392-Q

VL  - 184

IS  - 1-2

SP  - 15

EP  - 19

Y2  - 2024/12/25

ER  -