TY - JOUR T1 - Clustering in gallium ion beam sputtered compound materials driven by bond strength and interstitial/vacancy reaction JO - Applied Physics Letters UR - http://dx.doi.org/10.1063/5.0161681 PY - 2023/09/05 AU - Ma Z AU - Zhang X AU - Liu P AU - Deng Y AU - Hu W AU - Chen L AU - Zhu J AU - Chen S AU - Wang Z AU - Shi Y AU - Ma J et al ED - DO - DOI: 10.1063/5.0161681 PB - AIP Publishing VL - 123 IS - 10 Y2 - 2024/10/23 ER -